志德(厦门)真空科技有限公司

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专业精修EBARA荏原ESA200W干泵,志德真空,精修各种类型干泵

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  • 志德(厦门)真空科技有限公司
  • 2016-05-25 11:06:59.0
  • 海沧区
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【详细说明】

专业精修EBARA荏原ESA200W干泵,志德真空,精修各种类型干泵 专业精修日本荏原原装进口全系列真空泵

日本EBARA荏原ESA200W干泵维修

EBARA荏原ESA200W干式真空泵的介绍

ESA系列是新研发的独特干式真空泵,具有优越的高速排气性能从而适应了LCD溅射制膜装置,真空干燥制程,大型L/L等工艺要求,并拥有高附加价值,对应气体负荷自动控制转速、高通信功能等

特点:

最适用于大型真空反应室的高速排气

具有高性能通信机能

转速自动调节功能

采用高速控制泵运转方式

采用大口径转子,设计上完美小型

不产生真空泵大型化所引起的搬运性能降低

也可用于有机溶剂排气上用的特别规格

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