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专业精修EBARA荏原ESA200W干泵,志德真空,精修各种类型干泵
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- 志德(厦门)真空科技有限公司
- 2016-05-25 11:06:59.0
- 海沧区
- 无
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【详细说明】
专业精修EBARA荏原ESA200W干泵,志德真空,精修各种类型干泵 专业精修日本荏原原装进口全系列真空泵
日本EBARA荏原ESA200W干泵维修
EBARA荏原ESA200W干式真空泵的介绍
ESA系列是新研发的独特干式真空泵,具有优越的高速排气性能从而适应了LCD溅射制膜装置,真空干燥制程,大型L/L等工艺要求,并拥有高附加价值,对应气体负荷自动控制转速、高通信功能等
特点:
最适用于大型真空反应室的高速排气
具有高性能通信机能
转速自动调节功能
采用高速控制泵运转方式
采用大口径转子,设计上完美小型
不产生真空泵大型化所引起的搬运性能降低
也可用于有机溶剂排气上用的特别规格
